UVWステージ

マシンビジョン

UVWステージのしくみ(位置決め用高精度XYθステージ)

工業用の画像処理の分野では画像を撮影して検査をするばかりでなく、半導体やFPDの業界では位置決め(アライメント)用途にも応用されています。今回は位置決め用途で用いられているUVWステージという、高精度のステージを紹介したいと思います。 通常...
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